更新时间:2024-10-16
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一、Hammer质量流量计产品特点
· 测量质量流量
· 无需温度和压力补偿
· 结构紧凑
· 精度高
· 工作压力高
· 响应时间快
· 重复性高
二、Hammer质量流量计产品简介:
本体耐压100bar,可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。气体大流量可测到100SLPM,质量流量控制器的大流量可测到100SLPM。
三、Hammer质量流量计技术参数
型号 | 质量流量计/质量流量控制器 |
流量范围(N2) | 10SCCM~100SLPM |
响应时间 | <2 sec |
精准度 | ≤±1% FS |
重复精度 | ±0.2% FS |
输入/输出信号 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA |
耐压 | <100bar |
工作环境温度 | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范围 | 2 ~ 100% |