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国产质量流量计

更新时间:2019-08-19

简要描述:

国产质量流量计耐压100bar(产品在50MPa压力下通过打压测试),可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。Z大流量可测到100SLPM,质量流量控制器的Z大流量可测到100SLPM。

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一、国产质量流量计产品特点

· 测量质量流量

· 无需温度和压力补偿

· 结构紧凑

· 精度高

· 工作压力高

· 响应时间快

· 重复性高

二、国产质量流量计产品简介

本体耐压100bar,可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。气体大流量可测到100SLPM,质量流量控制器的大流量可测到100SLPM。

三、国产质量流量计技术参数

型号

质量流量计/质量流量控制器

流量范围(N2)

  10SCCM~100SLPM

  响应时间

  <2 sec

精准度

  ≤±1% FS

  重复精度

  ±0.2% FS

  输入/输出信号

0~5 Vdc OR 4~20 mA

供电电源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

 耐压

  <100bar

工作环境温度

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范围

  2 ~ 100%

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