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ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器

简要描述:

ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器采用全316L不锈钢结构及密封的316L不锈钢传感器,可根据不同应用需求选择相应的弹性密封材料, 如:FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的层流压差技术能以 惊人的速度测量气体质量流量,且具备一系列标准性能,如:200:1量程可调比、内置30种气体可选、多功能数字显示屏及有条件的终身质保等。

更新时间:2023-01-04

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一、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器产品优势

操作简单

Alicat 质量流量计&质量流量控制器操作极其简单,用户可通过多功能数字显示屏调节参数,无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。

精确控制

Alicat 标准型质量流量计&质量流量控制器的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),几乎所有型号通过增加高精选配项可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)

高性价比

Alicat 质量流量计&质量流量控制器本身耗电极小,从而降低了系统运营的成本,且相比于同类产品,其压损较低,降低压损意味着更多气体进入到系统中,而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外,Alicat 质量流量计&质量流量控制器还可同时测量体积流量、压力和温度,您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量,是监控整个应用过程及减少气体浪费的有效的方法。MCS系列的模块化设计使其成为真空应用的佳选择。

性能

MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM3000SLPM的满量程的任何流量,除了RS-232数字信号输出,还配有多种模拟信号输出。MS系列质量流量计亦有便携式型号(MBS系列),采用一块普通9伏电池供电,即成为一款适用于腐蚀性气体的二等标准流量校准设备。

反应灵敏

与相应标准型M/MC系列相同,MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器(防腐蚀型)其测量响应小于10毫秒、控制响应为100毫秒。

高重复性

Alicat 的技术使得质量流量计&质量流量控制器几乎没有可移动部件,所有零件都被内置固定,腔体内不存在物理变化,从而具有较高的*性和重复性。所有Alicat 质量流量计&质量流量控制器的重复性可达±0.2% F.S

值得信赖

现有超过90000Alicat设备正被使用在不同领域中,质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如:科学研究、泄漏测试、环境监测、 真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。

二、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器标准性能

  • 多功能数字显示屏
  • 显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力
  • 低压损
  • 无需预热
  • 316L不锈钢本体&传感器
  • FFKMVitonBunaEPDM密封材料可选
  • 可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
  • 内置130种常用气体可选 ,开放COMPOSER? — 气体编辑器,允许用户自定义混合气体组分
  • 200:1 量程可调比

三、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器性能参数

指标

ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM

精度

±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程)

重复性

±0.2%

量程比

200:1

响应时间

100ms

标准状态(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

温度范围

-10~50

零点漂移

0.02

量程漂移

0.02

湿度范围

0-100%

测量流量范围

128%(过流率)

大耐压

145psi

输出信号(数字)

质量流量、体积流量、压力和温度

数字信号可选

RS485,Modbus,Profibus

输出信号(模拟)

质量流量、体积流量、压力和温度

模拟信号可选

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

电气连接

8针/9针/15针(根据不同类型流量计而定)

供电电压

7-30VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC)

供电电流

0.035A(4-20mA输出时为:0.055A)


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