brooks气体质量流量控制器

一、brooks气体质量流量控制器概览

Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界*的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。

我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种危险场所。

二、brooks气体质量流量控制器产品特点

• 较低的泄漏率
• 结构紧凑
• 内螺纹排气口抛光处理
• 常闭阀
• 对安装位置不敏感

三、brooks气体质量流量控制器技术参数

• 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
• 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
• 流量范围:0.03-30slpm
• 量程比：50:1
• 大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
• 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
• 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
• 精度:±1%FS
• 重复性：0.25% of rate
• 响应时间：1-3s
• 差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）
• 操作温度范围：5~65℃
• 输出信号：0-5VDC或4-20mA
• 电源：+/-15V

?四、brooks气体质量流量控制器其他系列产品

• SLA5800S---数字型气体质量流量计/控制器
• SLA5800 enhanced series
• 4800 series
• 5800S series
• 5851EM