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Linetech质量流量控制器设备配套的Z佳选择
发布时间:2016-01-19   点击次数:1006次

Linetech质量流量控制器性能稳定,性价比高,是设备配套的产品。

一、韩国Linetech M3030A气体质量流量控制器产品特点

  • 测量质量流量
  • 无需温度和压力补偿
  • 结构紧凑
  • 精度高
  • 工作压力高
  • 响应时间快
  • 重复性高

二、韩国Linetech M3030A气体质量流量控制器技术参数

型号

质量流量计

质量流量控制器

流量范围(N2)

  10SCCM~1000SLPM

  10SCCM ~ 300slpm

  响应时间

  <2 sec

  <2 sec

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重复精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  输入/输出信号

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供电电源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

 耐压

  <90bar

  0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar,

100-300SLPM,<15bar

工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范围

  2 ~ 100%

  2~ 100%

 

三、韩国Linetech M3030A气体质量流量控制器接口尺寸

北京汉默科技有限公司

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