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流量控制器检查出现偏差的方法
发布时间:2022-08-19   点击次数:95次
  流量控制器是准确测量气体流量的仪器。由于温度或压力的波动,测量值不会错位。不需要温度和压力补偿。即使系统压力波动或环境温度发生变化,也可以根据需要进行流量设定,自动将流量恒定在设定值。它不会导致它偏离设定值。
 
  流量控制器可以准确控制给定量的气体,用于不同气体的比例控制,用于许多过程的流量控制。直接测量气体的质量流量,输出质量流量信号,无需其他设备。
 
  质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
 
  质量流量计是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。
 
  检查出现偏差方法:
 
  1、零点是否有漂移,首先需接通电源,质量流量控制器信号为0的情况下,则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号;
 
  2、气体是否纯净,如果盘路有污染,那么流量就肯定会收到影响,这个时候可以用高纯N2多次清扫,如果还是不能解决则需要找专业维修点接受A/S;
 
  3、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力,如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。
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