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质量流量控制器

质量流量控制器

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报    价: 8888
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质量流量控制器,Z小控制量程低至0-0.5SCCM,采用层流差压原理,可本地显示温度,绝压,质量流量和体积流量,耐压1MPa,低压差条件下亦可使用。内置130种气体,大大节约用户成本。反应时间快。

质量流量控制器的详细资料:

 

一、产品系列

MC 标准系列

全球控制响应zui快、zui稳定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特®R系列阀门为全球*的无摩擦阀门,可精密控制大流量的气体流量,特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW / MCRW 低压损系列

zui大限度减小压损对系统的影响,满量程压损zui低仅为4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力,是航空航天、环境气体分析等应用的完美选择;zui大量程:0-500 slpm。点击这里了解更多关于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。 点击这里了解更多关于耐腐蚀系列

MCE / MCV 半导体行业专用系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器,可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容,封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ,专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVSzui大量程:0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业专用系列

MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列

全球*双向,可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。  点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列

二、质量流量控制器常用选配项

?     后置阀门,优化真空及背压应用的控制

?     批量控制模式,依靠快速的阀门响应来分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA认证12 / ATEX认证12区允许设备用于危险环境

?     9针或15D-Sub等连接接口可选

?     通讯模式有Modbus-RTURS-232RS-485PROFIBUS等可选

?     彩色背光显示屏适用于光线不足的场合

三、性能参数

指标

MFC

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程)

重复性

±0.2%

量程比

200:1

响应时间

100ms

标准状态(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

温度范围

-10~50

零点漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

湿度范围

0-100%

测量流量范围

128%(过流率)

zui大耐压

145psi

输出信号(数字)

质量流量、体积流量、绝对压力和温度

数字信号可选

RS485,Modbus,Profibus

输出信号(模拟)

质量流量、体积流量、绝对压力和温度

模拟信号可选

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

电气连接

8针/9针/15针(根据不同类型流量计而定)

供电电压

7-30VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC)

供电电流

0.035A(4-20mA输出时为:0.055A)


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