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质量流量控制器

简要描述:

质量流量控制器是控制和测量气体流量的仪器,它们在各种工业应用中都非常关键。MC标准系列设计旨在提供响应式的气体流量控制并抑制压力波动。MCR大流量系列质量流量控制器是设计用于处理较大气体流量的仪器,具备多项功能和特性以满足工业上对气体流量控制的需求。MCW/MCRW低压损系列设计的低压损性能使得在气体流动过程中,压力损失减小

更新时间:2024-06-11

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  质量流量控制器是控制和测量气体流量的仪器,它们在各种工业应用中都非常关键。
 

质量流量控制器

 

  以下是一些大家经常选购的系列:
 
  1 、MC标准系列
 
  其设计旨在提供响应式的气体流量控制并抑制压力波动。以下是一些特点:
 
  .高精度控制:能够控制气体的流量,确保流量保持在用户设定值内。这对于需要气体流量控制的实验或工业应用很重要。
 
  .稳定性能:该系列控制器性能稳定,能够有效抑制因压力波动导致的影响。
 
  .无需温度压力补偿:与某些流量计不同,测量值不会因温度或压力的波动而失准,因此不需要进行温度压力补偿,这是由于它们可直接测量通过传感器的质量流量。
 
  .广泛应用:适用于多种气体,并且在不同的工业和科研领域中都有广泛的应用,如半导体制造、化学气相沉积、燃烧系统等。
 
  .可定制性:根据不同的应用需求,可提供定制化的选项,以满足特定的操作条件和性能要求。
 
  .用户界面友好:配备直观的用户界面,使得设置和调整流量参数变得简单快捷。
 
  .安全性:具备必要的安全特性,以确保在各种操作条件下的安全使用。
 

MC标准系列

 

  2、MCR大流量系列
 
  MCR大流量系列质量流量控制器是设计用于处理较大气体流量的仪器,具备多项功能和特性以满足工业上对气体流量控制的需求。以下是一些详细介绍:
 
  . 适用多种标准工况:能够在不同标准温度和压力下工作,提供三种工况供切换,允许用户根据实际应用需求选择合适的工作环境。
 
  . 快速响应:整合了快速响应的比例调节阀与优化的PID控制,能够实现控制响应时间,这对于需要迅速调整流量的工艺来说非常关键。
 
  . 适应性高:无论是在高温还是低温环境下,MCR系列都能保持稳定工作。
 
  . 湿度适应范围广:这些控制器可在广泛的工作湿度范围内运行而不会发生冷凝,让在不同湿度条件下设备的正常运行。
 

MCR大流量系列

 

  3、MCW/MCRW低压损系列的特点如下:
 
  . 低压损设计:这些控制器设计的低压损性能使得在气体流动过程中,压力损失减小,这对于保持系统的整体效率和成本效益较为重要。
 
  . 层流差压式原理:产品采用层流差压式原理,这是一种通过测量流体流过传感器时产生的压力差来确定流量的方法,能够实现流量控制和测量。
 
  . 多样化应用:适用于多种行业,包括实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体等,显示出它们的多功能性和适应性。
 
  . 兼容性:设计兼容多种类型的气体和应用,确保了在不同的操作条件下均能保持良好的工作性能。
 

MCW/MCRW低压损系列

 

  4、MCS/MCRS耐腐蚀系列
 
  MCS/MCRS系列耐腐蚀系列是专为处理腐蚀性气体而设计的高精度设备。以下是详细介绍:
 
  . 响应速度: MCS/MCRS系列在通电后毫秒内即可响应,可以快速达到并保持设定值,满足对快速控制有要求的应用场合。
 
  . 多变量数据: 用户能够以选择的工程单位控制质量流量、体积流量或压力,并且设备能显示瞬时流量、压力和温度读数,方便监控和调整过程参数。
 
  . 易于集成: 设计考虑了与其他系统的集成需求,使得这些控制器能够轻松地适配到现有的工业或科研系统中。
 
  . 稳定性: 除了快速响应外,MCS/MCRS系列还能够稳定地控制目标气体的流量。
 
  . 材料: 设备的接液部分使用耐腐蚀材料制成,能够抵抗气体腐蚀,延长使用寿命。
 

MCS/MCRS耐腐蚀系列

 

  5、MCE/MCV半导体行业系列
 
  MCE/MCV半导体行业系特别适用于半导体行业的真空应用。
 
  MCE系列主要针对低真空应用;
 

MCE系列

 

  MCV系列则适用于高真空应用;
 

MCV系列

 

  以下是详细介绍:
 
  . 多变量测量与控制:这些控制器能够同时测量和控制多个变量,如质量流量、体积流量、压力和温度,提供过程监控。
 
  . 多种气体标定:MCE/MCV系列支持多种气体的标定,这意味着它们可以在不同的气体环境下保持流量控制。
 
  . 量程可调比:这些控制器具备量程可调比,使得一台设备就能覆盖广泛的应用范围,从而减少了对多台设备的依赖。
 
  . 快速响应:MCE/MCV系列在控制响应速度上与其标准质量流量控制器一样快,这对于需要迅速调整流量的半导体工艺很重要。
 
  . 紧密联系:MCV和MCE系列在设计上紧密相关,采用的技术和应用特性相辅相成,为不同真空条件下的应用提供了解决方案。

质量流量控制器

 


 
  性能参数:

指标

MFC

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程)

重复性

±0.2%

量程比

200:1

响应时间

100ms

标准状态(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

温度范围

-10~50

零点漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

湿度范围

0-100%

测量流量范围

128%(过流率)

大耐压

145psi

输出信号(数字)

质量流量、体积流量、压力和温度

数字信号可选

RS485,Modbus,Profibus

输出信号(模拟)

质量流量、体积流量、压力和温度

模拟信号可选

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

电气连接

8针/9针/15针(根据不同类型流量计而定)

供电电压

7-30VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC)

供电电流

0.035A(4-20mA输出时为:0.055A)

 

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