流量控制器由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

 

　　不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机连接自动控制的气体稳流装置。

 

　　流量控制器主要的优点：

 

　　1、直接测量气体的质量流量热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无需进行换算。

 

　　2、无可移动部分本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。

 

　　3、可以准确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。

 

　　4、测量控制的自动化。

 

　　5、控制器可以准确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制等。

 

　　6、准确度高，重复性好准确度可达＋－1％F.S（fullscale）重复性为＋－0.25％F。S（fullscale）。

 

　　7、体积小巧，安装方便，操作简单。

 

　　8、技术先进，符合发展潮流。