FG30E带显示气体质量流量控制器由质量流量传感器，层流件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，流量不受温度和压力影响。

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