一、艾里卡特双向气体质量流量控制器应用领域
- 双向测量气体的质量流量、体积流量、压力和温度
- 控制来自压缩气体或真空泵的气体的质量流量或体积流量
- 控制流经气体的压力或背压
- 控制密闭系统内压力(自带排气)
二、艾里卡特双向气体质量流量控制器产品优势
具备ALICAT常规产品所有的优势,如响应时间快,操作简单,控制精度高,重复性高等
三、产品性能
标准性能
- 多功能数字显示屏
- 显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力
- 低压损
- 无需预热
- Viton密封
- 8针mini-DIN电信号接口
- 标准圆形电源接口
- RS-232多点式数字信号输入&输出
- 0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多种模拟信号输入&输出可选
- 可调节PID算法
- 内置30种气体可选
- 200:1 量程可调比
- NPT接头
- 有条件的终身质保
可选性能
- 累加器
- 6针、DB9或DB15电信号接口
- ProfiBUS数字信号输出
- RS-485数字信号输出
- 第二种模拟信号输出
- 远程显示屏
- EPDM密封
- NeSSI本体
- 氧气清洁
- SAE接头
- VCR, VCO接头
- 5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
- 额外标定点
- 定制混个气体(多4种)
- 不锈钢阀门
- 集成式电位计控制
四、产品参数
- 可控制从-0.5 ~ +0.5 SCCM 到-3000 ~ +3000 SLPM的满量程的任何流量,量程可调比为200:1
- 精度&重复性:±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注:该处F.S.为双向满量程之和)
- 控制响应时间:<100毫秒
- 大入口压力:145 psig (MCD & MCDS)、50 psig (MCDW)