更新时间:2024-07-23
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一、艾里卡特耐腐蚀气体质量流量控制器产品优势
操作简单
Alicat 质量流量计&质量流量控制器操作极其简单,用户可通过多功能数字显示屏调节参数,无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。
精确控制
Alicat 标准型质量流量计&质量流量控制器的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),几乎所有型号通过增加高精选配项可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性价比
Alicat 质量流量计&质量流量控制器本身耗电极小,从而降低了系统运营的成本,且相比于同类产品,其压损较低,降低压损意味着更多气体进入到系统中,而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外,Alicat 质量流量计&质量流量控制器还可同时测量体积流量、压力和温度,您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量,是监控整个应用过程及减少气体浪费的有效的方法。MCS系列的模块化设计使其成为真空应用的佳选择。
性能
MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量,除了RS-232数字信号输出,还配有多种模拟信号输出。MS系列质量流量计亦有便携式型号(MBS系列),采用一块普通9伏电池供电,即成为一款适用于腐蚀性气体的二等标准流量校准设备。
反应灵敏
与相应标准型M/MC系列相同,MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器(防腐蚀型)其测量响应小于10毫秒、控制响应为100毫秒。
高重复性
Alicat 的技术使得质量流量计&质量流量控制器几乎没有可移动部件,所有零件都被内置固定,腔体内不存在物理变化,从而具有较高的*性和重复性。所有Alicat 质量流量计&质量流量控制器的重复性可达±0.2% F.S。
值得信赖
现有超过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中,质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如:科学研究、泄漏测试、环境监测、 真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。
二、艾里卡特耐腐蚀气体质量流量控制器标准性能
三、性能参数
指标 | ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程) |
重复性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
响应时间 | 100ms |
标准状态(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
温度范围 | -10~50 |
零点漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
湿度范围 | 0-100% |
测量流量范围 | 128%(过流率) |
大耐压 | 145psi |
输出信号(数字) | 质量流量、体积流量、压力和温度 |
数字信号可选 | RS485,Modbus,Profibus |
输出信号(模拟) | 质量流量、体积流量、压力和温度 |
模拟信号可选 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
电气连接 | 8针/9针/15针(根据不同类型流量计而定) |
供电电压 | 7-30VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC) |
供电电流 | 0.035A(4-20mA输出时为:0.055A) |