Linetech质量流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
Linetech质量流量计主要参数:
流量范围 | 0.005-1000(slpm) |
响应时间 | ≤2 |
精 度 | ≤1%或0.2% |
重 复 性 | ±0.25 |
输出信号 | 0-5vdc或4-20mA |
供电电压 | 15-28vdc |
温度范围 | 0-50℃ |