Linetech质量流量计

简要描述：

Linetech质量流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

更新时间：2023-01-05

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Linetech质量流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

Linetech质量流量计主要参数：

流量范围： 0.005-1000(slpm)

响应时间： ≤2

精度： ≤1%或0.2%

重复性： ±0.25

输出信号： 0-5vdc或4-20mA

供电电压： 15-28vdc

温度范围： 0-50℃

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