气体质量流量控制器能够在较大的量程范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。气体质量流量计能够在较大的量程范围内对气体的质量流量进行精密测量。气体质量流量控制器是带有控制气体质量流量的装置，气体质量流量计是不具有控制气体质量流量功能的装置。

　　气体质量流量控制器在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。气体质量流量控制器其典型的场合包括：电子工艺设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。

　　气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(气体质量流量控制器可以在高压或真空条件下工作)，气体质量流量控制器其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自动控制。