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Porter质量流量控制器发展需“稳中求胜”
发布时间:2015-10-19   点击次数:720次
   Porter质量流量控制器发展需“稳中求胜”
  Porter质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、控制的领域。Porter质量流量控制器简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。Porter质量流量控制器独特的热式测量系统提供的测量,同时液体温度上升小于5度。的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。P2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计,用于那些不需要进行流量控制的场合。
  Porter质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保(高纯度和泄漏完整性)。独特的层流旁路和传感器部件提供的测量,同时液体温度仅上升5度,此外,Porter质量流量控制器的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。
  Porter质量流量控制器设计特点
  · 热式原理
  · 一体化设计
  · 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
  · 响应时间不超过 2 秒钟
  · 操作压力可达 20MPa
  · 对安装位置不敏感
  · 316SS 材质,允许测量腐蚀性气体
  · 无直管段安装要求
  · 单电源供电
  Porter质量流量控制器参数:
  ? 流量范围从0-5sccm到0-1000slpm(氮气)
  ? 设定点的响应时间不超过1sec
  ? 控制精度可达实际流量的1%
  ?I/O(输入&输出)可选模拟和数字信号
  ? 可实现本地/远程设置/显示
  Porter质量流量控制器是用来对各种气体的质量流量进行进行精密测量与控制的一种仪器。Porter质量流量控制器通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。Porter质量流量控制器的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。Porter质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。Porter质量流量控制器并广泛用于石油化工。冶金,制药等。Porter质量流量控制器特点:精度高,重复性好。
 
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