气体质量流量控制器的校准步骤通常涉及多个环节，以确保其测量和控制流量的准确性。以下是详细的校准步骤：
一、环境条件准备
温度与湿度：确保校准环境稳定，温度控制在（20±5）℃，湿度在45%RH~75%RH范围内。
无干扰：校准过程中应无大气压力突变、振动干扰及磁场干扰。
二、设备检查与连接
设备检查：确认
气体质量流量控制器及其配套设备（如肥皂膜流量计、U型管压力计、秒表、数字万用表、气瓶等）完好无损，量程和精度符合要求。
管道清洁：清洁管道以确保密封性。
设备连接：正确连接气瓶、被检控制器、肥皂膜流量计和U型管压力计，确保各连接部位无漏气现象。
三、校准步骤
1.外观与初步检查：
检查控制器外观是否损坏，按键是否正常，显示屏是否清晰。
打开电源，预热15分钟以上，观察显示流量值是否为零，不为零则进行清零操作。
2.管道连接与检漏：
根据被检控制器流量范围选择量程合适的标准流量计。
连接好气路，确保接口处密封无泄漏。对于高压气体，应增加气密性检验步骤。
3.示值误差校准：
通过调节阀或流量计设置多个不同的流量点（如满量程的0%、25%、50%、75%、100%）。
记录标准流量计和被检流量计的读数，计算示值误差。
重复测量多次，取平均值以提高准确性。
4.响应时间校准：
设定一个流量阶跃变化（如从0%到50%或从50%到100%）。
同时启动秒表，记录被检控制器响应达到稳定所需时间。
响应时间应满足技术规格书要求，否则需调整内部参数或更换部件。
5.重复性校准：
选择2~3个不同流量点进行重复性测试。
每个流量点重复测量多次（如6次），记录读数并计算重复性误差。
确保重复性满足要求，以证明控制器的一致性和可靠性。
6.控制性能校准：
如果具备外部控制功能，还需进行控制性能校准。
通过外部模拟信号或通信接口发送控制命令，观察被检控制器执行动作的准确性和及时性。
四、数据记录与报告编制
数据记录：详细记录校准过程中的各项数据，包括流量设定值、标准流量计读数、被检流量计读数、时间、温度等环境条件。
结果判断：根据校准数据判断被检控制器的示值误差、重复性和响应时间等指标是否符合技术规格书要求。对于不合格项，需进行调整或维修后重新校准。
报告编制：整理校准数据，编制校准报告。报告应包含被校仪器信息、校准依据、校准项目、校准数据、不确定度/准确度等级、校准结论等内容。
五、归档保存
将校准报告存档备查，以便后续追溯和质量控制。
遵循上述校准步骤，可以确保气体质量流量控制器的准确性和可靠性，满足实验和工业应用的需求。
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