alicat气体质量流量控制器由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成。

 

　　alicat气体质量流量控制器是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

 

　　接通电源后，先预热15分钟，再通气工作，以保证测量的准确度。气体质量流量控制器切忌液体和油污，不能使用在液体介质中工作，只能使用在气体工作介质中。

 

　　且气体要是洁净、干燥的，没有微粒和潮气。否则，须在气路中加装过滤器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的气路洁净，一旦被污染，将严重影响产品的准确度。

 

　　气体质量流量控制器准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响，广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域。

 

　　控制器的泄露率可以做到1×10－8Pa.m3／s，并且气体质量流量控制器的密封材质选用进口材质氟橡胶，耐腐蚀抗氧化。所以对于气体质量流量控制器在甲烷气体使用上面*符合要求，并且得到客户较高的使用反馈。