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质量流量控制器测量出现偏差的处理
发布时间:2018-03-19   点击次数:553次
    质量流量控制器测量出现偏差的处理
  质量流量控制器无需预热、瞬间启动的特点使得质量流量控制器在短短一秒钟内就能开始控制真空镀膜过程系统的流量,实时测量显示质量流量、体积流量、压力和温度参数,并将运用温度与压力对流量参数进行充分补充。气体模块程序直接通过质量流量控制器自带的屏幕显示,并可直接通过屏幕按钮操作切换气体种类。
  质量流量控制器既可进行气体流量计量工作,也可用于过程控制领域。质量流量控制器引进美国先进技术生产,无须温压补偿,直接测出流体的质量流量。质量流量控制器的突出特点是:没有可动部件;压力损失小;量程比宽;精度高;可靠性高;安装简单,操作方便。可以在所有领域全面替代孔板和差压式流量计。
  质量流量控制器采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD),一个是速度传感器,一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时,其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加,介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定,则必须增加通过质量流量控制器的工作电流,此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。
  大家都知道质量流量控制器是探测流量等的仪器,那么如果质量流量控制器出现流量偏差是一件非常严重的事情,因此当出现偏差的问题我们需及时的解决,今天质量流量控制器小编就来跟大家浅谈质量流量控制器出现流量偏差的解决方法;
  一、0点是否有漂移
  首先需接通电源,质量流量控制器信号为0的情况下,则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号;
  二、气体是否纯净
  如果盘路有污染,那么流量就肯定会收到影响,这个时候可以用高纯N2多次清扫,如果还是不能解决则需要找专业维修中心接受A/S;
  三、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力
  如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程;
  以上就是质量流量控制器出现偏差的原因以及解决方法,希望能够给您带来帮助。想更多了解关于质量流量控制器、流量计、质量流量计等设备,可以关注北京汉默科技有限公司。
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