气体质量流量控制器可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，气体质量流量控制器其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。

　　气体质量流量控制器的主要优点是什么大家知道么？下面气体质量流量控制器厂家给大家介绍下。

　　(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

　　对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于气体质量流量控制器则一般可以忽略不计。

　　(2)测量控制的自动化

　　气体质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对气体质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,气体质量流量控制器能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。

　　(3)地定量控制流量

　　气体质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

　　(4)适用范围宽

　　有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa;气体质量流量控制器可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品小流量范围可达0～5sccm，大流量范围可达0～200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到广泛应用。

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