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BASIS质量流量控制器量程范围增加到20 SLPM
发布时间:2016-06-06   点击次数:1007次

外型轻巧、兼容性强、高精度的艾里卡特BASIS基础版质量流量控制器专为批量采购的OEM设备集成商而设计,满量程流量范围已覆盖100 SCCM、1000 SCCM、20 SLPM三种,均支持数字通讯。

随着量程范围的加大,基础版质量流量控制器的应用范围将更广,例如: 样气稀释、喷气反应 、气体混合系统等。

BASIS基础版质量流量控制器BASIS基础版质量流量控制器为OEM系统集成用户提供快速、高精度且经济的流量测量与控制方案。控制响应速度快至100毫秒的BASIS基础版质量流量控制器对入口处的流量波动作出实响应、将出口端流量稳定控制至规定的流量值,精度为NIST可溯源:+/-(1.5% Rd + 0.5% F.S.)。

BASIS基础版质量流量控制器向用户开放相对灵活的气体切换选项,用户可在欲标定气体Air, Ar, CO2, N2, O2, N2O中自行切换,但若预设气体为He或H2,则不可切换成其它气体。对于系统集成用户而言,灵活的气体切换意味着可将BASIS基础版质量流量控制器用于多个不同项目。气体切换可通过各种通讯模式实现――RS-485、RS-232、Modbus串口通讯以及0-5 Vdc模拟信号。BASIS基础版质量流量控制器同时开放数字通讯和模拟通讯,无论PLC或PC,均可轻松控制。

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