热式质量流量控制器的操作与维护对于确保其长期稳定运行和准确测量至关重要。以下是一份详细的操作与维护指南:
一、操作指南
1.确认气路管道连接:
在使用热式质量流量控制器之前,应首先确认气路管道是正常且紧密连接的。
检查整套系统的管路,确保无泄露、无松动。
2.调整气源压力:
由于一般气体的气源压力较高,因此需要通过减压阀将高压力减至流量控制器的标定压差。
如果使用流量计,则只需将气源出口的压力调至产品的耐压范围内即可。
3.设置气体流量:
设备的信号输入输出通常是相同的,只需在流量设定设备上正常设置所需的流量大小。
4.预热与调零:
预热后,观察零点是否归零。如果不归零,可以通过调节调零电位器进行调零。数字式气体质量流量控制器可以通过软件进行调零。
5.打开气源并设定流量值:
待零点稳定后,打开气源,并根据需要设定用户所需的流量值。
6.安全操作注意事项:
如果使用的气体具有腐蚀性,应在操作结束后使用干燥氮气进行吹扫,再切断气源和电源。
气体质量流量控制器通常水平安装,如需任意角度安装,需向厂家说明,以便厂家按用户的安装方式进行标定。

二、维护指南
1.定期检查与校准:
定期检查流量计的外部和内部情况,特别是传感器和测量部件。
使用温和的清洁剂和软布清洁传感器表面和周围区域,确保没有积尘、油脂或其他污物影响测量精度。
按照制造商的建议进行校准,通常是每年一次或更频繁,以确保测量的精确性。
2.电气连接检查:
定期检查电气连接的状态,确保连接牢固且没有损坏或腐蚀。
如果有电气部件(如加热元件或传感器),确保其正常工作并按需进行维护。
3.环境条件控制:
确保流量计周围的环境条件符合制造商的要求,包括温度、湿度和化学物质的影响。
如果可能,提供适当的防护措施,如防水罩或防护罩,以延长设备的使用寿命。
4.记录与维护:
记录每次保养和校准的日期、结果和所采取的措施。
保留流量计的相关文档和使用手册,以便随时参考和必要时进行更新。
5.专业服务与维护:
根据制造商的建议或保修要求,定期进行专业服务和维护。
在设备出现异常或性能下降时,及时进行故障排除和修复。
通过遵循上述操作与维护指南,可以确保热式质量流量控制器的长期稳定运行和准确测量。这有助于提高生产效率,并减少因设备故障而导致的损失。