高压质量流量控制器精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点。可任意位置安装,配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用,也可直接同计算机实现RS-232连接,非常方便的实现自动控制。质量流量控制器广泛应用于半导体、真空电子、太阳能、光伏、制气、医疗、航空航天、生物技术、分析仪器等领域。
质量流量控制器的主要优点是什么?
(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量控制器则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化
高压质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,质量流量控制器还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,质量流量控制器能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。
(3)地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的质量流量控制器可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的质量流量控制器小流量范围可达0~5sccm,大流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此高压质量流量控制器在很多领域得到广泛应用。