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艾里卡特MCE系列质量流量控制器助力精密真空镀膜气体流量控制
发布时间:2017-09-26   点击次数:894次

艾里卡特MCE系列质量流量控制器集成于全球的真空设备供应商MDC Vacuum Products, LLC公司的XpressStick™系列质量流量控制器气体棒中。能精密控制气体流量上至20SLPM、自带屏幕显示的MCE系列质量流量控制器使得气体连接模块带有气体编辑程序功能,从而直接将压缩气体通入真空腔体内。

艾里卡特MCE系列质量流量控制器的测量与控制量程范围从0-0.5 sccm一直到0-20 slpm,仅需20~50毫秒即可到达设定值流量,有效消除了于真空镀膜过程中的靶材中毒。

XpressStickRelease一体式设计的XpressStick质量流量控制器气体棒消除了原本包括气体混合、压力控制、精密调节、真空腔等复杂的硬件系统,其精密的气体流量控制系统使得用户完成全套真空镀膜过程只需简单的一个步骤。专门设计用于高纯真空应用的XpressStick质量流量控制器气体棒也有适用于腐蚀性气体的不锈钢材质系列。

艾里卡特MCE系列质量流量控制器无需预热、瞬间启动的特点使得XpressStick在短短一秒钟内就能开始控制真空镀膜过程系统的流量,实时测量显示质量流量、体积流量、压力和温度参数,并将运用温度与压力对流量参数进行充分补充。气体模块程序直接通过艾里卡特MCE系列质量流量控制器自带的屏幕显示,并可直接通过屏幕按钮操作切换气体种类。

MDC Vacuum Products, LLC公司副总裁James Moore表示:“控制响应速度快、度高、性能可靠是我们选择质量流量控制器合作品牌的关键因素。根据过往使用Alicat质量流量控制器的经验,我们十分确定Alicat能全部满足以上三点因素,并且Alicat质量流量控制器自带屏幕显示,方便于我们的一体化设计。”

艾里卡特质量流量控制器压力控制器、真空气体流量控制器广泛应用于全球真空镀膜领域。

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